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제    품   명
    Flat Type MICA Heater
특           징
 특성 / 성능
-FLAT MICA Heater를 사용 하여 수명연장, 경량화
-정밀 온도 측정을 위한 Chamber 자체 제작, 보유
-12” HOT & Cool plate, 8inch HP 제작
-반도체, LCD용 Mica Heater & HOT Plate
-High Quality & Low Cost
-G6 기준 최대 Range 150℃±0.7℃ (평탄도 ≤0.2)
-일본 업체와 기술 협력 협약 및 국내 생산